CARATTERIZZAZIONI
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| RICHIEDI INFO |
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| Specifiche tecniche |
- Campo di misura: 8000-350 cm–1
- Accuratezza della lunghezza d’onda: 0,05 cm–1 a 2000 cm–1
- Risoluzione minima: 0,6 cm–1
- Rapporto segnale/rumore: migliore di 35000:1
- Accessorio ATR con cristallo in ZnSe
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| Costo |
- Campione singolo: 150 €
- Specialista di Laboratorio: 40 €/ora
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| Specifiche tecniche |
- Microscopio Raman Imaging DXR2xi della Thermo Fisher dotato di una CCD ad altissima sensibilità,
ottimizzato per realizzare mappe veloci.
- Sistema motorizzato per mappature bidimensionali e tridimensionali con risoluzione di 800 nm circa in x-y e 2 μm su z;
- Configurazione di misura in backscattering;
- Obiettivi 10x, 50x da vicino, 50x a lunga focale, 60x da immersione;
- Due sorgenti laser, nel visibile, a 532 nm, e nel vicino infrarosso, a 785 nm;
- Due grating, il full range, da 50 cm-1 a 3400 cm-1 (risoluzione spettrale 6 cm-1 circa) e l’high resolution da 50 cm-1 a 1800 cm-1 (risoluzione spettrale 2 cm-1 circa);
- Ottiche di controllo di pol arizzazione, sia per la radiazione incidente che per quella diffusa (Raman polarizzato);
- Hot Stage Linkam THMS600-HFS600 (0°-600°C);
- Hot stage aperto della Scharlab HCP202S per campioni di grandi dimensioni e dispositivi (0°- 200°C);
- Sistema di filtraggio da vuoto su membrane di silicio per campioni in soluzione;
- Alimentatore a due canali per misure di termografia Raman su dispositivi in condizioni operative
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| Costo |
- Analisi Raman base: 200 € a campione
- Mappatura Raman (da concordare la fattibilità): 300 € a campione
- Analisi statistica multivariata dei dati spettrali: 250 € a mappa
- Termografia (da concordare la fattibilità): 800 euro a campione/dispositivo
- Specialista di Laboratorio: 40 €/ora
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| Specifiche tecniche |
- Flexural scanning stage
- Controreazione open or closed loop X/Y/Z
- Probe monitoring nell’IR (800nm)
- Max scanning area (x/y/z): 100x100x20 um
- Max sample size (x/y/z): fino a 5x5x0.5 cm
- Max Force Curve collection speed: 0.05 s
- Risoluzione spaziale in modalità morfologica: X/Y < 1 nm Z < 0,3 nm
- Risoluzione in forza < 0,01 nN
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| Costo |
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| Specifiche tecniche |
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Omicron LT-STM
- Sistema 4-contatti
- Bobina superconduttiva, max 400 Gauss (40 mT) perpendicolare alla superficie del campione
- Temperature di misura: 300 ÷ 2.3 K
- P< 1×10-10 mbar
Camera di preparazione
- Ottica LEED/Auger
- Manipolatore con riscaldamento resistivo indiretto (max 800°C) e/o diretto (max 1250°C).
- Cannone a ioni
- Cella di Knudsen
- Sistema di deposizione a bombardamento elettronico
- Microbilancia al quarzo
- Linea gas (Ar, O2, H2, NH3, C2H2…)
- Spettrometro di massa
- Sistema pulizia punte in vuoto
- Sfaldatore per campioni lamellari
- P< 5×10-10 mbar
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| Costo |
- 130 €/h + costi dei liquidi criogenici
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| Specifiche tecniche |
- Generatore di potenza (0-50 kV)
- Slitta di collimazione con apertura compresa tra 5 um e 10 mm
- Rvelatore fotodiodo a stato solido ultrapuro (Ortek-Ametek)
- Analizzatore di spettri multicanale (fino a 2048 canali) (Ortek-Ametek)
- Con risoluzione energetica di circa l’1,5%
- Telaio rivestito in piombo
- Bracci del rivelatore e della sorgente automatizzati e mossi da due attuatori lineari azionati da motori passo-passo, con un incremento minimo dell’angolo di scattering di 0,004
- Cella ad alta temperatura e ambiente controllato
- Torretta basculante per campioni cresciuti anisotropicamente
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| Costo |
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| Specifiche tecniche |
- XRD fuori piano ad alta risoluzione
- Ottica modulare flessibile per configurazioni multiple
- Sorgente di radiazione Cu Kα
- Rilevatore 1D
- Cupola DHS 1100 di Anton Paar
- Riscaldamento in atmosfera di N2
- Intervallo di temperatura (30 – 1100) °C
- Velocità di riscaldamento (1 – 60) °C/min
- Termocoppia Pt-10%Rh-Pt
- Cupola in grafite a basso assorbimento di raggi X
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| Costo |
- Preparazione campioni: 200/h
- Misurazione: 250€/h
- Elaborazione dati: 130€/h
- Analisi dei dati e di report: 130€/h
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| Specifiche tecniche |
- Tubo radiogeno con anodo in Ag
- Rilevatore di deriva del silicio (SDD)
- Collimatori automatici e fotocamera
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| Costo |
- Preparazione campioni: 100€/h
- Misurazione: 150€/h
- Elaborazione dati: 130€/h
- Analisi dei dati e report: 130€/h
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| Specifiche tecniche |
- Forza di carico: 1, 5, 10, 15, 25, 50, 100, 200, 300, 500, 1000, 2000 (gf)
- Tempo di carico:5-99 sec
- Velocità di avvicinamento:25/60 um/s
- Obiettivo PLANARE C 10x / 0,22 – 7,8 mm di distanza libera di lavoro
- Obiettivo PLANARE N 50x / 0,75 – 0,37 mm di distanza libera di lavoro
- Dimensioni dello stage: 135 x 135 mm
- Corsa X/Y: 25×25 mm
- Incremento di posizionamento: 0,01 mm
- Altezza massima del campione sullo stage: 90 mm
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| Costo |
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| Specifiche tecniche |
- Range frequenza: 0.3–6.5 THz
- Area lavoro: 15×15 cm2
- Risoluzione: 200 um
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| Costo |
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| Specifiche tecniche |
| ? |
| Costo |
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LITOGRAFIA
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| RICHIEDI INFO |
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| Specifiche tecniche |
- Tensione di accelerazione fino a 50 kV
- Campo di scrittura fino a 500 um
- 50 MHz pattern generator
- 18-bit pattern generator
- Corrente di fascio: da 50pA fino a 40nA
- Stitching: <= 25nm (|mean|+3sigma)
- Overlay: <= 25nm (|mean|+3sigma)
- Stabilità sulla posizione del fascio: <200nm/8h
- Stabilità della corrente di fascio: <0.5%/h
- Pattern periodici: <= 40nm
- Dimensioni di scrittura lineare <= 10nm
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| Costo |
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SISTEMI DI DEPOSIZIONE
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| RICHIEDI INFO |
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| Specifiche tecniche |
- 4 bersagli confocali
- Riscaldamento del substrato
- Portacampione planetario
- Possibile polarizzazione DC sul campione
- Introduzione del campione in camera da vuoto separata
- Accetta campioni di tipo wafer fino a 2 pollici di diametro
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| Costo |
- Preparazione campioni: 200€/h
- Deposizione: 350€/h
- Elaborazione dati: 130€/h
- Analisi dei dati e report: 130€/h
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